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作者(中文):許育珠
作者(外文):Hsu, Yu-Chu
論文名稱(中文):基於增量式學習之抽樣策略應用於半導體微影製程
論文名稱(外文):Incremental-learning-based Sampling Strategies for the Lithography Process in Semiconductor Manufacturing
指導教授(中文):廖崇碩
指導教授(外文):Liao, Chung-Shou
口試委員(中文):許嘉裕
林義貴
口試委員(外文):Hsu, Chia-Yu
Lin, Yi-Kuei
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:工業工程與工程管理學系
學號:108034514
出版年(民國):110
畢業學年度:109
語文別:英文
論文頁數:31
中文關鍵詞:增量式學習微影製程疊對記號覆蓋誤差抽樣策略
外文關鍵詞:Incremental LearningPhotolithography processOverlay MarkOverlay ErrorSampling Strategy
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